共用装置（卓上スパッタ装置)

装置名：卓上スパッタ装置
　　　　　製品名：nanoPVD
　　　　　メーカー:Moorfield Nanotechnology

装置管理責任者：山下　兼一
　　　　装置管理問合せ先：山下　兼一

＜装置の概要＞

　本装置は、3元のスパッタ装置です。
　・試料は4インチウエハ1枚が対応可能
　・

＜装置の仕様＞

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